光刻机之所以能在小小的芯片上进行雕刻,这主要得益于它有一把锋利的“刀”。来自技术装备展区的“老朋友”德国通快,是全球唯一的一家能够供应极紫外光刻机光源的厂商,在今年进博会上,德国通快就带来了极紫外(EUV)光刻机种子光模型,可以做到的“雕刻精度”在7nm以下,比一根头发的万分之一还要细。这也是该项技术的亚洲首秀。
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